Methylsilan

Strukturformel
Keile zur Verdeutlichung des räumlichen Aufbaus
Allgemeines
Name	Methylsilan
Andere Namen	Monomethylsilan
Summenformel	CH6Si
Kurzbeschreibung	farbloses Gas mit widerlichem Geruch
Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer 992-94-9 EG-Nummer 213-598-5 ECHA-InfoCard 100.012.362 PubChem 70434 Wikidata Q978572
Eigenschaften
Molare Masse	46,14 g·mol−1
Aggregatzustand	gasförmig
Dichte	2,076 kg/m³ 0,628 g/cm³ (flüssig, bei −57,5 °C)
Schmelzpunkt	−156,8 °C
Siedepunkt	−57,5 °C
Dampfdruck	13,043 bar (20 °C) 16,5 bar (30 °C) 25,2 bar (50 °C)
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung Gefahr H- und P-Sätze H: 220​‐​280 P: 210​‐​377​‐​381​‐​403
Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Methylsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der siliziumorganischen Verbindungen.

Darstellung

Methylsilan kann in quantitativer Ausbeute durch Umsetzung von Monochlorsilan mit einem Überschuss von Dimethylzink hergestellt werden.

${\displaystyle \mathrm {SiH_{3}Cl+\ Zn(CH_{3})_{2}\ {\xrightarrow[{}]{}}\ Si(CH_{3})H_{3}\ +\ ClZnCH_{3}} }$

Eigenschaften

Methylsilan ist ein extrem entzündbares, farbloses Gas (Flammpunkt ≤ −30 °C) mit widerlichem Geruch. Es ist schwerer als Luft (relative Gasdichte= 1,606), bildet mit Luft explosive Gemische (untere Explosionsgrenze bei 1,3 Vol.-% bzw. 25 g·m⁻³, obere Explosionsgrenze bei 88,9 Vol.-% bzw. 1705 g·m⁻³) und kann sich an der Luft selbst entzünden. Die Zündtemperatur wurde mit 160 °C bestimmt. Der Stoff fällt somit in die Temperaturklasse T4. Es zersetzt sich bei Erhitzung.

Verwendung

Methylsilan wird bei der chemischen Gasphasenepitaxie (VPE) von Germanium-dotierten Siliciumcarbidschichten (Ge:SiC) verwendet.

Verwandte Verbindungen

• Dimethylsilan
• Trimethylsilan
• Tetramethylsilan

Einzelnachweise

1. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 Eintrag zu Methylsilan in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFA, abgerufen am 8. Januar 2021. (JavaScript erforderlich)
2. ↑ Alfred Stock, Carl Somieski: Siliciumwasserstoffe VI.: Chlorierung und Methylierung des Monosilans. In: Berichte der deutschen chemischen Gesellschaft (A and B Series). Band 52, Nr. 4, 12. April 1919, S. 695, doi:10.1002/cber.19190520410. 
3. ↑ Chemsafe Datenbank für sicherheitstechnische Kenngrößen im Explosionsschutz, PTB Braunschweig/BAM Berlin, abgerufen am 7. Januar 2024.
4. ↑ Airliquide: Methylsilane