Ein weiteres Teilgebiet ist die Mikroverfahrenstechnik, die sich mit physikalischen und/oder chemischen Prozessen beschäftigt, die in mikrostrukturierten Apparaten ablaufen.
Man bezeichnet ein durch die Mikrosystem- oder Mikrotechnik hergestelltes Bauteil oder Gerät auch als Mikrosystem bzw. mikro-elektromechanisches System (MEMS).
Verfahren
In Mikrosystemen wirken Sensoren, Aktoren und Datenverarbeitung zusammen. Für die Herstellung komplexer Mikrosysteme werden daher Verfahren und Methoden aus unterschiedlichen Mikrotechniken kombiniert. Dazu zählen die Mikromechanik, die Mikrofluidik, die Bioelektronik, die Mikrooptik (Sensoren, Aktoren) sowie die Mikroelektronik (Datenverarbeitung, elektronische Schnittstellen) selbst. Die Integration zu einem System erfolgt sowohl aus diskrete Komponenten (siehe Aufbau- und Verbindungstechnik), als auch monolithisch in Halbleitermaterialien wie kristallinem Silizium oder Gallium-Arsenid (siehe Dünnschichttechnik). Die genutzten Verfahren zur Herstellung sind dabei sehr vielfältig, neben typischen Dünnschichttechniken werden auch Abformtechniken (wie LIGA), Ätztechniken usw. genutzt. Dabei nutzt die MST nahezu jede Art von Werkstoffen wie Metalle, Halbleiter, Keramiken, Sol-Gel-Materialien, Kunststoffe und viele mehr.
Studium
Die Mikrosystemtechnik und die Mikrotechnik werden grundsätzlich von Wissenschaftlern und Ingenieuren praktiziert. Es gibt jedoch auch die Ausbildung zum Mikrotechnologen.
Mikrosystemtechnik kann an verschiedenen Hochschulen, Universitäten oder Forschungseinrichtungen studiert werden. Grundlagen in Physik gelten generell als Grundvoraussetzung. Ähnliche Studiengänge heißen z. B. Nanotechnologie, NanoEngineering usw.
Die IEEE Electron Devices Society (EDS) verleiht u. a. den Robert Bosch Micro and Nano Electro Mechanical Systems Award für ausgezeichnete Arbeiten zu MEMS.
Wolfgang Menz, Jürgen Mohr, Oliver Paul:Mikrosystemtechnik für Ingenieure. Dritte, vollständig überarbeitete und erweiterte Auflage. Wiley-VCH, Weinheim 2005, ISBN 3-527-30536-X.
Stephanus Büttgenbach, Iordania Constantinou, Andreas Dietzel, Monika Leester-Schädel:Case Studies in Micromechatronics: From Systems to Processes. Springer Berlin Heidelberg, Berlin / Heidelberg 2020, ISBN 978-3-662-61319-1, doi:10.1007/978-3-662-61320-7 (englisch).
↑Jan G. Korvink, Oliver Paul:MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications. Springer Berlin Heidelberg, Berlin, Heidelberg 2006, ISBN 3-540-21117-9, doi:10.1007/978-3-540-33655-6 (englisch).
