ASML

ASML
Företagets huvudkontor i Veldhoven, Nederländerna.
Säte	Veldhoven
Nyckelpersoner	Christophe Fouquet, vd (2024–)
Antal anställda	44 027 (2024)
Historik
Grundat	1 april 1984
Grundare	ASM International och Philips
Webbplats	asml.com/
Redigera Wikidata

ASML Holding N.V. är ett multinationellt nederländskt företag som utvecklar och tillverkar utrustning för mikrolitografi, vilken används vid tillverkning av integrerade kretsar. Företaget är världens största leverantör av litografiutrustning till halvledarfabriker och den enda leverantören av utrustning för extrem ultraviolett litografi (EUV), som används för att tillverka de mest avancerade integrerade kretsarna.

ASML grundades 1984 av Philips och ASM International. Namnet ASML var ursprungligen en förkortning av Advanced Semiconductor Materials Lithography. År 2024 är TSMC, Samsung och Intel minoritetsägare.

En litografimaskin innehåller omkring 700 000 komponenter, varav ASML själva tillverkar cirka 15 %. Resterande komponenter levereras av närmare 5 000 underleverantörer. Varje maskin väger cirka 200 ton.

Teknik

ASML:s litografimaskiner använder extrem ultraviolett litografi (EUV) för att överföra mönster till kiselskivor. En droppe tenn hettas upp med laserljus och bildar ett plasma som är omkring 40 gånger hetare än solens yta. Plasmat genererar extremt ultraviolett ljus med en våglängd på 13,5 nanometer. Ljuset reflekteras mellan ett antal speglar, som riktar och formar det innan det passerar en mask med det önskade kretsmönstret. Speglarna, som tillverkas av Zeiss, är polerade med en tolerans på högst 50 biljondelar av en meter. Slutligen projiceras ljuset på en kiselskiva täckt med ett ljuskänsligt material.

Källor

Den här artikeln är helt eller delvis baserad på material från engelskspråkiga Wikipedia, ASML Holding, 4 mars 2023.