Termen metalloid (av metall och grek. -ειδής -eidés -liknande) föreslogs 1808 som beteckning på alkali- och jordartsmetaller, innan man riktigt var ense om dessa var verkliga metaller eller ej, men termen kom inte i bruk. Jöns Jacob Berzelius började emellertid redan 1811 använda begreppet för ämnen som inte är metaller, det vill säga det vi idag normalt kallar icke-metaller, och detta kom att bli den vedertagna[förtydliga] betydelsen. Nordisk familjebok betecknar dock 1909 bruket som vanligt, men "alldeles oriktigt", och 1951 som "oegentligt".
Senare kom metalloid att användas om halvmetaller. Detta är fortfarande vanligt i engelskt språkbruk, men på svenska undviks numera vanligtvis ordet.