Fotoresist

Fotoresist är ett ljuskänsligt material som kan användas i flera industriella processer, såsom fotolitografi och fotoengravering, för att skapa en mönstrad beläggning på en yta.

Ton

Fotoresister klassificeras i två grupper: positiva och negativa.

Skillnader mellan tontyper

Karakteristika Positiv Negativ
Vidhäftning till kisel Godtagbar Utmärkt
Relativ kostnad Dyrare Billigare
Framkallningsmedel Vattenbaserat Organiskt
Minsta detalj 0.5 μm och nedåt ± 2 μm
Stegtäckning Bättre Sämre
Våtkemisk motståndskraft Godtagbar Utmärkt

Se även

Källor

  1. ↑ Madou, Marc (2002). Fundamentals of Microfabrication. Boca Raton, Florida: CRC Press. sid. 9. ISBN 0-8493-0826-7. https://archive.org/details/fundamentalsofmi0000mado_e4l2